Telemark

Блоки питания Tetrode Tube

Источники питания с трубчатым электронным пучком Telemark (электронно-лучевая пушка) Telemark предлагают пользователям надежную, проверенную временем технологию для питания ваших источников электронного пучка. У технологии тетродных трубок есть определенные преимущества, такие как удобство обслуживания на месте, быстрое гашение дуги и низкая пульсация. Доступна мощность до 20 кВт, а работа от нескольких источников (до 3 источников) делает эти источники питания экономически привлекательными. Использование тетродных трубок обеспечивает мгновенное восстановление после дуги. Конструкция с воздушным охлаждением упрощает установку, а регулировка выходного тока поддерживается на уровне 1%. Постоянное выходное напряжение регулируется пользователем. В сочетании с Telemark Digital Sweep эти источники питания ebeam обеспечивают чрезвычайно стабильное положение луча и воспроизводимые результаты. Трубные расходные материалы Telemark для тетродов монтируются в стойку и устанавливаются отдельно (мощностью более 6 кВт) для экономии места в стойке и поддержки удаленного размещения устройств. Использование отдельных контроллеров обеспечивает быструю поддержку и минимальное время простоя в случае сбоев. Доступны портативные пульты дистанционного управления с дисплеями напряжения и тока.

Твердотельные блоки питания

Твердотельные источники питания Telemark Electronic Beam Source (ebeam gun) предлагают пользователям самые современные технологии в импульсных источниках питания. Обширное управление дугой обеспечивает быстрое восстановление, подсчет дуги и технологию определения продолжительности дуги. Устройства работают в диапазоне от 4 кВт до 12 кВт и доступны в конфигурации с одним или несколькими источниками питания. Текущее регулирование составляет <0,5%. Регулируемый выходной ток и сверхнизкая пульсация - большое преимущество для пользователей. В сочетании с Telemark Digital Sweep эти источники питания ebeam обеспечивают чрезвычайно стабильное положение луча и воспроизводимые результаты. Использование отдельных контроллеров обеспечивает быструю поддержку и минимальное время простоя в случае сбоев. Твердотельные блоки питания Telemark монтируются в стойку и имеют воздушное охлаждение, что упрощает установку. Доступны портативные пульты дистанционного управления с дисплеями напряжения и тока.

Производственные мульти-карманные источники

Telemark предлагает самый большой на рынке выбор мульти-карманных источников электронного пучка. Доступны карманные размеры от 2 до 100 куб. Выбор совместимости с вакуумом от 10-7 торр до 10-9 торр. Используя отклонение луча на 270 градусов, источники Telemark являются новейшими в технологии электронного луча. Варианты источников включают традиционное уплотнительное кольцо или вращение прохода магнитной жидкости. Могут быть поставлены установочные комплекты, заслонки для источников и карманные индексаторы.

Монитор ионного тока

Монитор ионного тока Telemark (ICM) обеспечивает мониторинг ионного потока в РЕАЛЬНОМ ВРЕМЕНИ во время процессов ионного осаждения.

Монитор ионного тока предоставляет важную информацию об осаждении для большинства ионных процессов. ICM контролирует поток положительных ионов, и выводит ток пучка в единицах ампер на квадратный сантиметр. Предусмотрены три диапазона усилителей, чтобы адекватно покрыть выходную плотность потока от широкого диапазона имеющихся в продаже источников ионных пучков. Регулируемое напряжение смещения предназначено для отклонения отрицательно заряженных частиц (электронов).

Источник ионов сверхвысокого вакуума

Бессеточный источник ионов в конце холла Mini UHV мощностью 500 Вт был специально разработан для обеспечения экономичного решения для процессов с ионной поддержкой для малых и средних систем осаждения сверхвысокого вакуума. Оборудование обеспечивает чрезвычайно надежный и не требующий обслуживания источник мощностью 500 Вт для многих приложений в процессах PVD. Компактный дизайн и прочная конструкция позволяют легко устанавливать как новые, так и существующие системы вакуумного напыления сверхвысокого вакуума.